TY - JOUR AU - Vera, Ricardo Otilio Verde AU - Cruz, Oscar Enrique Tang AU - Rojas, Juan Manuel Pesantes AU - Tarmeño, Eusebio Idelmo Cisneros AU - Kiyán, Julio Alfonso Arakaki AU - Gutierrez, Hernan Oscar Cortez AU - Gutierrez, Milton Milciades Cortez PY - 2021/05/17 Y2 - 2024/03/29 TI - Caracterización estructural y óptica de películas delgadas de dióxido de titanio depositadas por rociado pirolítico: Structural and optical characterization of titanium dioxide thin films deposited by pyrolytic sputtering JF - South Florida Journal of Development JA - S. F. J. of Dev. VL - 2 IS - 2 SE - Articles DO - 10.46932/sfjdv2n2-079 UR - https://ojs.southfloridapublishing.com/ojs/index.php/jdev/article/view/324 SP - 2141-2155 AB - <p>Se sintetizó películas de dióxido de titanio (TiO<sub>2</sub>) por rociado pirolítico, mediante una solución precursora de diisopropóxido de titanio estabilizado con acetil–acetonato al 75 % en isopropanol disuelto en metanol. Esta solución se roció sobre sustratos de vidrio en una cámara de reacción a 30 psi de presión a diferentes temperaturas (380, 430 y 480 y 380 recocida a 500 °C). La difracción de rayos X (DRX), estudió, el tamaño de grano, microtensión y parámetros de red. La espectroscopia UV–Vis, estudió la transmitancia, índice de refracción, espesor de las películas y ancho de banda prohibida. El equipo de cuatro puntas colineales estudió la relación voltaje–corriente. A 380 °C, la película es amorfa y las demás presentaron fase anatasa con pico predominante (101). La película crecida a 480 °C presenta el pico de rutilo (211). El tamaño de grano disminuye y la microtensión aumenta con la temperatura. Las películas de 480 y 500 °C muestran regular transparencia en la región visible (50–75 %). El índice de refracción se encuentra el rango de 1,96–2,43 y el ancho de banda prohibida tiene aproximadamente 3,2 eV. La gráfica voltaje – corriente, es lineal para las muestras crecidas a 480 °C.</p><p> </p><p>Titanium dioxide (TiO2) films were synthesized by pyrolytic sputtering, using a precursor solution of titanium diisopropoxide stabilized with 75 % acetyl-acetonate in isopropanol dissolved in methanol. This solution was sprayed onto glass substrates in a reaction chamber at 30 psi pressure at different temperatures (380, 430 and 480 and 380 annealed at 500 °C). X-ray diffraction (XRD), studied, grain size, microtension and lattice parameters. UV-Vis spectroscopy studied transmittance, refractive index, film thickness and forbidden bandwidth. Collinear four-prong equipment studied the voltage-current relationship. At 380 °C, the film is amorphous and the others presented anatase phase with predominant peak (101). The film grown at 480 °C shows rutile peak (211). The grain size decreases and the microtension increases with temperature. The 480 and 500 °C films show regular transparency in the visible region (50-75 %). The refractive index is in the range of 1.96-2.43 and the forbidden bandwidth is approximately 3.2 eV. The voltage-current plot is linear for the samples grown at 480 °C.</p> ER -